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図解でわかる＊半導体製造装置貸出可

菊地正典／監修 -- 日本実業出版社 -- ２００７．４ -- 549.8

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
久喜	貸閲公開	/549.8/ｽｶ/	101867794	一般和書	帯出可	在館中

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館名	所蔵数	貸出中数	貸出可能数
久喜	1	0	1

タイトル	図解でわかる＊半導体製造装置
書名カナ	ズカイ　デ　ワカル＊ハンドウタイ　セイゾウ　ソウチ
著者	菊地正典／監修
著者カナ	キクチ，マサノリ
出版者	日本実業出版社
出版年	２００７．４
ページ数	１８２ｐ
大きさ	２１ｃｍ
一般件名	半導体
NDC分類(9版)	549.8
内容紹介	半導体をつくるための装置である半導体製造装置。本書では、拡散工程から特性検査工程までの各工程で使用される装置の構造、操作原理、技術のすべてを、現場の一流の技術者がわかりやすく徹底図解で解説する。
ISBN	4-534-04217-5
特定資料種別	一般和書