資料詳細

電子線リソグラフィ教本貸出可

秋永広幸／編 -- オーム社 -- ２００７．６ -- 549

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
久喜	貸閲公開	/549/ﾃﾝ/	101888899	一般和書	帯出可	在館中

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館名	所蔵数	貸出中数	貸出可能数
久喜	1	0	1

タイトル	電子線リソグラフィ教本
書名カナ	デンシセン　リソグラフィ　キョウホン
著者	秋永広幸／編, 横山浩／監修
著者カナ	アキナガ，ヒロユキ,ヨコヤマ，ヒロシ
出版者	オーム社
出版年	２００７．６
ページ数	２１０ｐ
大きさ	２１ｃｍ
一般件名	電子工学
NDC分類(9版)	549
内容紹介	実際の目的に直結した、「電子線リソグラフィ」の実践的な教本。見開きで本文の内容と図表が対応するように配置し、各章の最後には「理解度チェック」のページを設けた。キーワードは、太字で表示する。
ISBN	4-274-20415-4
特定資料種別	一般和書