資料詳細

フォトマスク貸出可

田邉功／共著 -- 東京電機大学出版局 -- ２０１１．４ -- 549.8

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
久喜	貸閲公開	/549.8/ﾌｵ/	102410032	一般和書	帯出可	在館中

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館名	所蔵数	貸出中数	貸出可能数
久喜	1	0	1

タイトル	フォトマスク
書名カナ	フォトマスク
副書名	電子部品製造の基幹技術
副書名カナ	デンシ　ブヒン　セイゾウ　ノ　キカン　ギジュツ
著者	田邉功／共著, 竹花洋一／共著, 法元盛久／共著
著者カナ	タナベ，イサオ,タケハナ，ヨウイチ,ホウガ，モリヒサ
出版者	東京電機大学出版局
出版年	２０１１．４
ページ数	３２３ｐ
大きさ	２１ｃｍ
一般件名	半導体
NDC分類(9版)	549.8
内容紹介	半導体のウェーハ上に回路配線を形成するために用いる原版である、フォトマスク。本書では、次世代技術をささえるフォトマスク技術について、開発に携わる著者がわかりやすく、体系的にまとめた。
ISBN	4-501-32820-7
特定資料種別	一般和書