資料詳細

半導体真空技術貸出可

宇津木勝／著 -- 東京電機大学出版局 -- ２０１１．５ -- 534.93

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
久喜	貸閲公開	/534.93/ﾊﾝ/	102414893	一般和書	帯出可	在館中

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館名	所蔵数	貸出中数	貸出可能数
久喜	1	0	1

タイトル	半導体真空技術
書名カナ	ハンドウタイ　シンクウ　ギジュツ
副書名	ポイント解説
副書名カナ	ポイント　カイセツ
著者	宇津木勝／著
著者カナ	ウツギ，マサル
出版者	東京電機大学出版局
出版年	２０１１．５
ページ数	２１９ｐ
大きさ	２１ｃｍ
一般件名	真空技術
NDC分類(9版)	534.93
内容紹介	あらゆる産業を支える基礎技術のひとつである真空技術。本書では、半導体産業に焦点をあて、そこで使われている真空技術についてまとめた。できるだけ数式を使わず、理論的、体系的に半導体に関わる真空技術を解説。
ISBN	4-501-41890-7
特定資料種別	一般和書