資料詳細

図解入門よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み ( Ｈｏｗ－ｎｕａｌ　ｖｉｓｕａｌ　ｇｕｉｄｅ　ｂｏｏｋ ) 貸出可

佐藤淳一／著 -- 秀和システム -- ２０１１．１０ -- 549.7

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
久喜	貸閲公開	/549.7/ｽｶ/	102482270	一般和書	帯出可	在館中

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館名	所蔵数	貸出中数	貸出可能数
久喜	1	0	1

タイトル	図解入門よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み
書名カナ	ズカイ　ニュウモン　ヨク　ワカル　サイシン　ハンドウタイ　リソグラフィ　ノ　キホン　ト　シクミ
副書名	リソグラフィ技術の核心に迫る
副書名カナ	リソグラフィ　ギジュツ　ノ　カクシン　ニ　セマル
叢書名	Ｈｏｗ－ｎｕａｌ　ｖｉｓｕａｌ　ｇｕｉｄｅ　ｂｏｏｋ
叢書名カナ	ハウニュアル　ビジュアル　ガイドブック
著者	佐藤淳一／著
著者カナ	サトウ，ジュンイチ
出版者	秀和システム
出版年	２０１１．１０
ページ数	２７１ｐ
大きさ	２１ｃｍ
一般件名	集積回路 , 半導体
NDC分類(9版)	549.7
内容紹介	半導体チップの微細回路を生み出すキーテクノロジー「リソグラフィ」技術をわかりやすく解説した入門書。プロセスフローを例にして、基礎から発展までの技術が豊富なイラストで手に取るようにわかる。
ISBN	4-7980-3063-5
特定資料種別	一般和書