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はじめての半導体ドライエッチング技術 貸出可

野尻一男／著 -- 技術評論社 -- ２０１２．１ -- 549.8

所蔵

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
久喜 貸閲書庫 /549.8/ﾊｼ/ 102543972 一般和書 帯出可 在館中
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館名 所蔵数 貸出中数 貸出可能数
久喜 1 0 1

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タイトル はじめての半導体ドライエッチング技術 
書名カナ ハジメテ　ノ　ハンドウタイ　ドライ　エッチング　ギジュツ 
副書名 現場の即戦力
副書名カナ ゲンバ　ノ　ソクセンリョク
著者 野尻一男 ／著  
著者カナ ノジリ，カズオ
出版者 技術評論社
出版年 ２０１２．１
ページ数 １６２ｐ
大きさ ２１ｃｍ
一般件名 半導体
NDC分類(9版) 549.8
ISBN 4-7741-4940-3
特定資料種別 一般和書

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