資料詳細

半導体・ＭＥＭＳのための超臨界流体貸出可

近藤英一／編著 -- コロナ社 -- ２０１２．９ -- 549.8

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
久喜	貸閲公開	/549.8/ﾊﾝ/	102594116	一般和書	帯出可	在館中

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館名	所蔵数	貸出中数	貸出可能数
久喜	1	0	1

タイトル	半導体・ＭＥＭＳのための超臨界流体
書名カナ	ハンドウタイ　メムス　ノ　タメノ　チョウリンカイ　リュウタイ
著者	近藤英一／編著, 上野和良／共著, 内田寛／共著, 曽根正人／共著, 生津英夫／共著, 服部毅／共著, 堀照夫／共著, 森口誠／共著
著者カナ	コンドウ，エイイチ,ウエノ，カズヨシ,ウチダ，ヒロシ,ソネ，マサト,ナマツ，ヒデオ,ハットリ，タケシ,ホリ，テルオ,モリグチ，マコト
出版者	コロナ社
出版年	２０１２．９
ページ数	２２７ｐ
大きさ	２１ｃｍ
一般件名	半導体 , マイクロマシン , 超臨界流体
NDC分類(9版)	549.8
内容紹介	気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体について、特長と、乾燥、薄膜堆積、洗浄など、半導体・ＭＥＭＳのユニットプロセスへの応用をわかりやすく解説。超臨界流体のマイクロプロセス応用としては初めての本。
ISBN	4-339-00837-0
特定資料種別	一般和書