資料詳細

現場のスパッタリング薄膜Ｑ＆Ａ貸出可

小島啓安／著 -- 日刊工業新聞社 -- ２０１５．２ -- 549

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
久喜	貸閲公開	/549/ｹﾝ/	102876323	一般和書	帯出可	在館中

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館名	所蔵数	貸出中数	貸出可能数
久喜	1	0	1

タイトル	現場のスパッタリング薄膜Ｑ＆Ａ
書名カナ	ゲンバ　ノ　スパッタリング　ハクマク　キュー　アンド　エイ
副書名	反応性高速スパッタの実務アドバイス
副書名カナ	ハンノウセイ　コウソク　スパッタ　ノ　ジツム　アドバイス
著者	小島啓安／著
著者カナ	コジマ，ヒロヤス
出版者	日刊工業新聞社
出版年	２０１５．２
ページ数	４３７ｐ
大きさ	２１ｃｍ
一般件名	薄膜
NDC分類(9版)	549
内容紹介	スパッタリングプロセスの第一人者がＱ＆Ａ方式で現場の疑問をわかりやすく解説する実務書の第２版。
ISBN	4-526-07366-0
特定資料種別	一般和書