資料詳細

これからのＭＥＭＳ貸出可

江刺正喜／共著 -- 森北出版 -- ２０１６．６ -- 530

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
久喜	貸閲公開	/530/ｺﾚ/	102986288	一般和書	帯出可	在館中

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館名	所蔵数	貸出中数	貸出可能数
久喜	1	0	1

タイトル	これからのＭＥＭＳ
書名カナ	コレカラ　ノ　メムス
副書名	ＬＳＩとの融合
副書名カナ	エルエスアイ　トノ　ユウゴウ
著者	江刺正喜／共著, 小野崇人／共著
著者カナ	エサシ，マサヨシ,オノ，タカヒト
出版者	森北出版
出版年	２０１６．６
ページ数	１５１ｐ
大きさ	２２ｃｍ
一般件名	マイクロマシン
NDC分類(9版)	530
内容紹介	ＭＥＭＳはシーズからニーズの時代へ。これまで不可能とされた「ヘテロ集積化技術」を中心に、ＭＥＭＳの今後の開発促進や有効利用をＭＥＭＳ研究の世界的権威が解説する待望の１冊。
ISBN	4-627-77551-2
特定資料種別	一般和書