土肥俊郎/〔ほか〕著 -- 工業調査会 -- 1998.7 -- 549.7

所蔵

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
久喜 貸閲公開 /549.7/ハン/ 100312909 一般和書 帯出可 在館中
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館別所蔵

館名 所蔵数 貸出中数 貸出可能数
久喜 1 0 1

資料詳細

タイトル 半導体平坦化CMP技術 
書名カナ ハンドウタイ ヘイタンカ シーエムピー ギジュツ 
副書名 超LSI製造のキープロセス
副書名カナ チョウ エルエスアイ セイゾウ ノ キー プロセス
叢書名 K books series
叢書名カナ ケイ ブックス シリーズ
著者 土肥俊郎 /〔ほか〕著  
著者カナ ドイ トシロウ
出版者 工業調査会
出版年 1998.7
ページ数 307p
大きさ 19cm
一般件名 集積回路
NDC分類(9版) 549.7
ISBN 4-7693-1164-8
特定資料種別 一般和書
一般注記 各章末:参考文献
内容注記 各章末:参考文献

内容一覧

タイトル 著者名 ページ
各章末:参考文献