麻蒔立男/著 -- 日刊工業新聞社 -- 2001.9 -- 549.8

所蔵

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
久喜 貸閲公開 /549.8/チヨ/ 101011385 一般和書 帯出可 在館中
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館別所蔵

館名 所蔵数 貸出中数 貸出可能数
久喜 1 0 1

資料詳細

タイトル 超微細加工の基礎 
書名カナ チョウビサイ カコウ ノ キソ 
副書名 電子デバイスプロセス技術
副書名カナ デンシ デバイス プロセス ギジュツ
著者 麻蒔立男 /著  
著者カナ アサマキ タツオ
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2001.9
ページ数 295p
大きさ 21cm
一般件名 半導体 , 精密加工
NDC分類(9版) 549.8
ISBN 4-526-04812-7
特定資料種別 一般和書
一般注記 索引あり
内容注記 索引あり

内容一覧

タイトル 著者名 ページ
索引あり