伊藤隆司/編著 -- 電子情報通信学会 -- 1995.2 -- 549.7

所蔵

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
久喜 貸閲書庫 /549.8/イ/ 115023095 一般和書 帯出可 在館中
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館別所蔵

館名 所蔵数 貸出中数 貸出可能数
久喜 1 0 1

資料詳細

タイトル ULSIデバイス・プロセス技術 
書名カナ ユーエルエスアイ デバイス プロセス ギジュツ 
著者 伊藤隆司 /編著, 電子情報通信学会 /編  
著者カナ イトウ タカシ,デンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ
出版者 電子情報通信学会
出版年 1995.2
ページ数 322p
大きさ 22cm
一般件名 集積回路
NDC分類(9版) 549.7
ISBN 4-88552-126-2
特定資料種別 一般和書
一般注記 監修:菅野卓雄
内容注記 各章末:文献