前田和夫/著 -- 工業調査会 -- 1990.6 -- 549.7

所蔵

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
久喜 貸閲書庫 /549.8/ヴ/ 113007165 一般和書 帯出可 在館中
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館別所蔵

館名 所蔵数 貸出中数 貸出可能数
久喜 1 0 1

資料詳細

タイトル VLSIプロセス装置ハンドブック 
書名カナ ヴイエルエスアイ プロセス ソウチ ハンドブック 
著者 前田和夫 /著  
著者カナ マエダ カズオ
出版者 工業調査会
出版年 1990.6
ページ数 607p
大きさ 22cm
一般件名 集積回路
NDC分類(9版) 549.7
ISBN 4-7693-1080-3
特定資料種別 一般和書
内容注記 参考資料・文献・図書:p581〜590