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ウルトラクリーン化技術 貸出可

赤堀正幸／著 -- ダイヤモンド社 -- １９８８．４ -- 549.8

所蔵

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
久喜 貸閲書庫 /528.2/ｳ/ 112798897 一般和書 帯出可 在館中
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館別所蔵

館名 所蔵数 貸出中数 貸出可能数
久喜 1 0 1

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タイトル ウルトラクリーン化技術 
書名カナ ウルトラ　クリーンカ　ギジュツ 
副書名 三菱電機／東北大学の挑戦
副書名カナ ミツビシ　デンキ　トウホク　ダイガク　ノ　チョウセン
著者 赤堀正幸 ／著  
著者カナ アカホリ　マサユキ
出版者 ダイヤモンド社
出版年 １９８８．４
ページ数 ２３０ｐ
大きさ １９ｃｍ
一般件名 半導体
NDC分類(9版) 549.8
ISBN 4-478-24043-4
特定資料種別 一般和書
内容注記 参考資料：ｐ２２８

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