徳山巍,橋本哲一/編著 -- 日経BP社 -- 1989.1 --

所蔵

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
久喜 貸閲書庫 /549.8/ヴ/ 112768569 一般和書 帯出可 在館中
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館別所蔵

館名 所蔵数 貸出中数 貸出可能数
久喜 1 0 1

資料詳細

タイトル VLSI製造技術 
書名カナ ヴイエルエスアイ セイゾウ ギジュツ 
副書名 サブミクロン時代に向かう最先端MOS技術のすべて
著者 徳山巍,橋本哲一 /編著, 橋本哲一  
著者カナ トクヤマ タカシ,ハシモト ノリカズ
出版者 日経BP社
出版年 1989.1
ページ数 325p
大きさ 27cm
一般件名 集積回路
ISBN 4-8222-7055-6
特定資料種別 一般和書
内容注記 各章末:参考文献