資料詳細

分光エリプソメトリー貸出可

藤原裕之／著 -- 丸善 -- ２００３．６ -- 425.5

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
久喜	貸閲書庫	/425.5/ﾌﾝ/	101326528	一般和書	帯出可	在館中

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館名	所蔵数	貸出中数	貸出可能数
久喜	1	0	1

タイトル	分光エリプソメトリー
書名カナ	ブンコウ　エリプソメトリー
著者	藤原裕之／著
著者カナ	フジワラ，ヒロユキ
出版者	丸善
出版年	２００３．６
ページ数	２５１ｐ
大きさ	２１ｃｍ
一般件名	分光学
NDC分類(9版)	425.5
内容紹介	分光エリプソメトリーの急速な利用拡大を踏まえ、その理解に必要な基礎、および具体的な測定法・解析法についてわかりやすく解説。評価材料も半導体からバイオ材料まで取り入れ、広範な分野で利用できる入門書。
ISBN	4-621-07253-6
特定資料種別	一般和書