岡崎信次/著 -- 工業調査会 -- 2003.6 -- 549.7

所蔵

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
久喜 貸閲公開 /549.7/ハシ/ 101290732 一般和書 帯出可 在館中
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館別所蔵

館名 所蔵数 貸出中数 貸出可能数
久喜 1 0 1

資料詳細

タイトル はじめての半導体リソグラフィ技術 
書名カナ ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ 
叢書名 ビギナーズブックス
叢書名カナ ビギナーズ ブックス
著者 岡崎信次 /著, 鈴木章義 /著, 上野巧 /著  
著者カナ オカザキ,シンジ,スズキ,アキヨシ,ウエノ,タクミ
出版者 工業調査会
出版年 2003.6
ページ数 305p
大きさ 21cm
一般件名 集積回路 , 半導体
NDC分類(9版) 549.7
ISBN 4-7693-1224-5
特定資料種別 一般和書