麻蒔立男/著 -- 日刊工業新聞社 -- 2004.1 -- 549.8

所蔵

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
久喜 貸閲公開 /549.8/トコ/ 101395770 一般和書 帯出可 在館中
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館別所蔵

館名 所蔵数 貸出中数 貸出可能数
久喜 1 0 1

資料詳細

タイトル トコトンやさしい*超微細加工の本 
書名カナ トコトン ヤサシイ*チョウビサイ カコウ ノ ホン 
叢書名 B&Tブックス
叢書名カナ ビー アンド ティー ブックス
著者 麻蒔立男 /著  
著者カナ アサマキ,タツオ
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2004.1
ページ数 159p
大きさ 21cm
一般件名 半導体 , 精密加工
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 超微細加工は薄型ディスプレイやLSIなどの電子デバイスには欠かせないキーテクノロジーであり、最近では医療分野でも重要な役割を果たしている。本書では、その超微細加工についてトコトンやさしく解説する。
ISBN 4-526-05226-4
特定資料種別 一般和書